MKS NW40 - NW50耐腐蚀阀门采用专利技术在阀门处于打开处理位置时完全密封阀门波纹管。如果适用，可使用独特的伞形阀（排气阀）排出滞留气体。CRV 耐腐蚀真空隔离阀采用卓越的技术和优质材料制造，非常耐用和可靠。它外形小、重量轻、成本低且易于维护。
NW40 - NW50，可定制尺寸
专为在恶劣环境中使用而设计
防护罩可防止反应性和腐蚀性气体接触波纹管
常闭阀门利用空气打开和弹簧关闭以确保安全
高纯度、6061 铝、304 和 316 不锈钢材料，最大限度地减少腐蚀
使用行业标准尺寸，轻松适应现有系统
MKS NW40 - NW50耐腐蚀阀门特征
TIG 熔焊真空级阀体
另一个标准功能是 TIG 熔焊真空级主体，由高度耐腐蚀的 304 不锈钢制成，可减少滞留区域，从而减少污染积聚。耐腐蚀阀有角度和直列配置可供选择。端口尺寸包括 NW 40 和 NW 50，使用最大内径以获得更大的电导。对于密封操作，弹性密封件可用于典型真空操作条件的 Viton®，或 Kalrez®、Chemraz®、Perlast® 或 Gumlast® 用于更高温度条件和更高的耐化学性。
显示防护罩的阀门剖视图
MKS NW40 - NW50耐腐蚀阀门应用
耐腐蚀和耐臭氧阀设计用于在极其恶劣的半导体或太阳能过程中提供长寿命。这是通过屏蔽薄壁波纹管，限制波纹管暴露于腐蚀性或反应性气体来实现的。需要耐腐蚀阀门的典型工艺是 CVD 和蚀刻。这些工艺使用氟、氯、溴或臭氧等气体。建议对氟或臭氧使用铝屏蔽，而在使用氯或溴时应使用不锈钢屏蔽。该阀还可用于排气管线应用，以避免阀门波纹管腐蚀。